0200-09721 Plutajuća suknjica od keramičkog prstena

AMAT 0200-09721 keramička prstenasta plutajuća suknjica je precizna keramička komponenta komore koja se obično koristi u AMAT sistemima za obradu poluprovodnika. Projektovana za okruženja visokih temperatura i intenzivnog plazma efekta, komponenta pruža izuzetno:

● Termička otpornost

● Električna izolacija

● Otpornost na plazma eroziju

● Hemijska stabilnost

● Nisko generiranje čestica

Semixlab se fokusira na tehnologije proizvodnje keramike visoke čistoće kako bi osigurao konzistentan kvalitet, uske tolerancije i odličnu kompatibilnost sa zahtjevima procesa proizvodnje poluprovodnika.

Uloge u AMAT sistemima

U AMAT poluprovodničkoj opremi, keramička prstenasta plutajuća suknjica funkcionira kao ključna zaštita komore i komponenta za stabilizaciju procesa.

Njegove primarne uloge uključuju:

Kontrola granica plazme

Keramički prsten pomaže u održavanju stabilne distribucije plazme unutar procesne komore, doprinoseći poboljšanoj ujednačenosti procesa na površini pločice.

Zaštita komore

Djeluje kao zaštitna barijera između agresivnih hemikalija plazme i osjetljivih struktura komore, smanjujući habanje komore i produžujući intervale održavanja.

Električna izolacija

Struktura plutajućeg ruba pruža električnu izolaciju između komponenti komore, pomažući u stabilizaciji ponašanja RF plazme tokom procesa taloženja ili nagrizanja.

Podrška za termičku stabilnost

U uslovima obrade na visokim temperaturama, keramički prsten održava strukturni integritet i dimenzijsku stabilnost, osiguravajući konzistentne performanse procesa.

Tipične primjene u poluprovodničkim procesima

Keramička prstenasta plutajuća suknjica AMAT 0200-09721 se široko koristi u naprednim procesima izrade poluprovodnika, uključujući:

1. PECVD (Plazma-poboljšano hemijsko taloženje iz pare)

Podržava stabilne uslove plazme i minimizira kontaminaciju tokom nanošenja dielektričnog filma.

2. Plazma jetkanje

Pruža otpornost na plazmu i zaštitu komore u okruženjima nagrizanja na bazi fluora i hlora.

3. PVD (Fizičko taloženje iz parne faze)

Pomaže u održavanju čistih uvjeta u komori i poboljšava ponovljivost procesa.

4. Obrada poluprovodnika na visokim temperaturama

Pouzdano funkcioniše u okruženjima sa termičkim ciklusima koja zahtijevaju odličnu otpornost na toplotu i nisko stvaranje čestica.

5. Napredna proizvodnja logike i memorije

Pogodno za procesna okruženja sa strogim zahtjevima za kontaminaciju i ujednačenost.

Zašto odabrati Semixlab?

U Semixlabu kombinujemo napredno znanje o keramičkim materijalima s razumijevanjem procesa proizvodnje poluprovodnika kako bismo isporučili pouzdane komponente komora za globalne kupce poluprovodnika.

Pružamo:

● Precizna obrada keramike

● Rješenja od visokočistih materijala

● Kontrola kvalitete poluprovodničkog kvaliteta

● Prilagođena OEM/ODM podrška

● Stabilna sposobnost snabdijevanja

Semixlab je posvećen podršci proizvodnji poluprovodnika sljedeće generacije pouzdanim, visokoperformansnim materijalnim rješenjima.