Glass Carbon Coating

Premaz od staklastog ugljika se obično koristi kada čistoća postane važnija od svega ostalog. Stvara glatkiju i inertniju površinu na grafitu, što pomaže u smanjenju stvaranja čestica tokom rada.

Vidjet ćete ga u primjenama kao što su rast silicijumskih kristala, epitaksija ili MOCVD susceptori. U nekim slučajevima, koristi se i izvan poluprovodnika, na primjer u metalurškoj izradi alata.

Jedan zanimljiv slučaj upotrebe je u MBE sistemima. Zbog svoje veće električne otpornosti, može pomoći određenim komponentama da efikasnije dostignu radnu temperaturu, ponekad bez potrebe za dodatnim hlađenjem. Nije najčešći premaz, ali u specifičnim okruženjima - posebno tamo gdje je kontrola kontaminacije stroga - može biti praktična opcija.