Kvarcni dijelovi

Kvarc se i dalje svuda koristi u obradi poluprovodnika. Nije nov, ali je pouzdan i većina fabrika je upoznata s njegovim ponašanjem. Sve dok se čistoća kontroliše, dobro funkcioniše u fazama difuzije, oksidacije i čišćenja.

Mnogo kvarcnih dijelova se koristi u sistemima peći ili PECVD alatima. Glavno očekivanje je stabilnost - ne nužno dug vijek trajanja, već predvidljive performanse. To je obično dovoljno dobro za mnoge standardne procese.

Naravno, kvarc ima svoja ograničenja. Može se brže istrošiti u određenim uslovima, posebno u poređenju sa SiC-om. Ali, budući da ga je relativno lako nabaviti i nije previše skup, ljudi ga i dalje prilično često koriste.