Vakuumska peć za vruće presovanje za vezivanje SiC kristalnog sjemena

Vezivanje sjemenskih kristala jedan je od ključnih procesa koji utiču na rast kristala. Na osnovu karakteristika vezivanja sjemenskih kristala, Semixlab je razvio specijaliziranu opremu za vakuumsko vruće presovanje za vezivanje sjemenskih kristala. Ova oprema efikasno smanjuje različite defekte nastale tokom procesa vezivanja, čime se poboljšava prinos vezivanja sjemenskih kristala i konačni kvalitet kristala.

Ⅰ. Uvod u opremu za vakuumsku vruću presu za vezivanje kristala semena

1. Koristi se za vezivanje kristala prije rasta SiC kristala;

2. Zalijepljene sjemenke održavaju prianjanje na 2300°C bez odvajanja, postižući 100% lijepljenje bez mjehurića s visokom ravnošću i čistim površinama pločice bez adsorpcije nečistoća;

3. Grijaća ploča koristi otporno grijanje tipa diska, osiguravajući ravnomjernu raspodjelu temperature, siguran rad i jednostavno rukovanje;

4. Senzori pritiska postavljeni ispod posude precizno prikazuju pritisak koji se primjenjuje na radni komad.

II. Funkcionalni pregled opreme za vakuumsku vruću presu za kristale sjemena

Semixlabova vakuumska peć za vruće presovanje kristala silicijum karbida dizajnirana je za vruće presovanje kristala silicijum karbida uz pomoć vakuuma.

1. Dvoslojna, vodom hlađena metalna komora efikasno smanjuje temperaturu površine peći, minimizira opasnosti od visokih temperatura i smanjuje utjecaj na okoliš;

2. Sposoban za automatsku primjenu i održavanje pritiska, postepeno opterećenje i pomicanje s automatiziranom kontrolom;

3. Različite konfiguracije vakuumskog sistema omogućavaju odabir različitih nivoa vakuuma na osnovu zahtjeva procesa;

4. Ravnomjerna raspodjela pritiska i visoka preciznost kontrole temperature;

5. Primjena pritiska koristi precizne mehaničke mehanizme potiska za tačnu i stabilnu isporuku pritiska, osiguravajući siguran rad i ekološku kompatibilnost;

6. Univerzalni zglob između gornje glave prese i potisne šipke garantuje adaptivnu paralelnost između gornje glave i donje ladice tokom presovanja, osiguravajući ravnomjernu raspodjelu pritiska;

7. Gornja glava prese uključuje amortizaciju pritiska za glatko, nježno nanošenje sile bez udara, sprječavajući lomljenje radnog komada;

8. Temperaturni senzori integrirani u ploču za prijenos topline povezani su s regulatorom temperature, omogućavajući preciznu temperaturu grijanja i programsku kontrolu;

9. I paleta i gornja glava prese uključuju izolacijske uređaje kako bi se smanjio gubitak toplote.

Ⅲ. Performanse i karakteristike opreme za vruće vakuumsko presovanje kristala Semixlab

1. Postepena vakuumska ekstrakcija s kontroliranom brzinom pumpanja;

2. Velika komora za veliki potencijal nadogradnje;

3. Stabilna glava prese sa automatizovanim radom;

4. Regulacija i otpuštanje pritiska sa automatskim nagibom pritiska i regulacijom recepta;

5. Precizna kontrola temperature s programabilnim ciklusima temperature i pritiska;

6. Prilagodljivi parametri vakuuma, pritiska i temperature za različite procese lijepljenja;

7. Gusto lijepljenje bez mjehurića;

8. Ultra niska stopa loma - praktično nema loma izazvanih uređajem;

9. Kompatibilnost: Podržava pločice od 6-12 inča;

10. Maksimalni pritisak prema dolje: 1.6 T;

11. Krajnji vakuum: 5 Pa (hladno);

12. Ujednačenost temperature grijaće platforme: <±3℃, σ<4 (na 200℃);

13. Fluktuacija pritiska: <0.5%.

Parametri peći za vruće presovanje za vezivanje sjemena