EN 
EN
DA
NL
FI
FR
DE
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
ID
SK
UK
VI
TH
TR
FA
BE
LA
UZ
SiC konzolne lopatice
Semixlab-ove SiC konzolne lopatice su precizno konstruirane komponente dizajnirane za rukovanje pločicama u visokotemperaturnim poluprovodničkim procesima kao što su epitaksija, oksidacija i CVD. Napravljene od visokočistog rekristaliziranog ili CVD silicijum karbida, ove lopatice nude odličnu toplinsku provodljivost, nisko toplinsko širenje i izuzetnu hemijsku otpornost. Njihov lagani dizajn visoke čvrstoće osigurava dimenzionalnu stabilnost i zaštitu pločice tokom brzog termičkog cikliranja. Semixlab, kojem vjeruju globalni lideri u poluprovodničkoj industriji, pruža potpuno prilagođena rješenja, brzu isporuku i dug vijek trajanja proizvoda - što ga čini idealnim partnerom za napredne potrebe proizvodnje poluprovodnika.
Opis
Ⅰ. Konzolne lopatice od visokočistog SiC-a za precizno rukovanje pločicama
SiC konzolne lopatice su ključne komponente koje se koriste u opremi za termičku obradu za rukovanje pločicama tokom epitaksije, difuzije i oksidacije u proizvodnji poluprovodnika. Njihova izuzetna termička i mehanička svojstva čine ih idealnim za visokotemperaturna i korozivna okruženja u čistim sobama.
Ⅱ. Pregled proizvoda i funkcionalne prednosti
1. Izuzetna svojstva materijala za visokoperformansne primjene
Semixlab-ove SiC konzolne lopatice proizvedene su od visokočistih, rekristaliziranih silicijum karbidnih (R-SiC) ili CVD SiC premaza, pružajući odličnu toplotnu provodljivost (do 120 W/m·K), nisko toplotno širenje (~4.0 x 10⁻⁶/K) i izvanrednu otpornost na koroziju i toplotni udar. Ova svojstva osiguravaju stabilnu potporu pločice tokom procesa na visokim temperaturama, minimizirajući rizik od deformacije pločice ili kontaminacije.
2. Vrhunska dimenzijska stabilnost i ravnost
Sa minimalnim savijanjem čak i na temperaturama preko 1400°C, konzolni dizajn osigurava ujednačeno postavljanje i prenos pločice, što je od vitalnog značaja za ujednačenost epitaksijalnog sloja. Mala masa i visoka krutost SiC poboljšavaju propusnost sistema i temperaturni odziv tokom brze termičke obrade.
3. Čistoća površine na nivou čiste sobe
Zahvaljujući gustoj i glatkoj površinskoj obradi SiC-a, Semixlab lopatice minimiziraju stvaranje čestica i ispuštanje plinova. Ovo je posebno važno u okruženjima koja zahtijevaju nivo čistoće Klase 1 ili ISO 14644-1 Klase 2.
4. Prilagođeno za epitaksijalne, difuzijske i CVD peći
Naše SiC konzolne lopatice se široko koriste u MOCVD, LPCVD i oksidacijskim pećima, kompatibilne su s vodećim brendovima opreme kao što su ASM, TEL i Veeco. Projektovane su za optimalnu termičku ujednačenost i mehaničku preciznost, što pomaže u osiguravanju većeg prinosa i manjih varijacija u procesu.
Ⅲ. Zašto odabrati Semixlab?
Pružamo inženjerske usluge po mjeri, uključujući:
● Prilagođavanje proizvoda po veličini, strukturi i kvalitetu materijala
● Optimizacija premaza za termičku i hemijsku otpornost
● Brza izrada prototipova i mogućnosti proizvodnje malih serija
● Tehničko savjetovanje i validacija dizajna
Kao vodeći kineski proizvođač i fabrika SiC konzolnih lopatica, Semixlab insistira na pružanju prilagođenih tehnoloških i proizvodnih rješenja. Bez obzira da li želite optimizirati postojeći proces termičke obrade, kupiti visokoučinkovite zamjenske dijelove ili zajednički razviti prilagođena SiC rješenja, Semixlab će vam pružiti tehničku i podršku prilikom isporuke.
Aplikacije
● Nosači MOCVD epitaksijalnih pločica
● Lopatice za oksidacijsku i difuzijsku peć
● Sistemi za punjenje pločica u LPCVD/CVD alatima
● Prilagođeni nosači susceptora za rast složenih poluprovodnika
Naše usluge
Semixlab prodavnica proizvoda
