SiC Ceramics

SiC keramika se sve više koristi u poluprovodničkoj opremi, uglavnom zato što bolje podnosi teže uslove. Kada temperatura postane visoka ili proces postane agresivniji, materijali poput kvarca ili silicija mogu početi pokazivati ​​ograničenja, i tu obično dolazi do izražaja SiC. U procesima u pećima kao što su oksidacija ili difuzija, dijelovi poput lađica za pločice ili lopatica napravljeni od SiC-a imaju tendenciju da duže traju. Zadržavaju svoj oblik i ne unose mnogo kontaminacije, čak ni nakon dugog rada. Ljudi često prelaze sa kvarca iz tog razloga, posebno kada održavanje postane prečesto.

Za nagrizanje, SiC se često bira jednostavno zato što duže preživi plazmu. Razlika u vijeku trajanja u poređenju sa silikonskim dijelovima je primjetna u mnogim postavkama, iako i dalje zavisi od tačnog procesa. Također pomaže u kontroli čestica, koja postaje osjetljivija kako se čvorovi smanjuju. Također ćete vidjeti SiC koji se koristi kao susceptori u MOCVD ili CVD. U tim slučajevima, manje se radi o "čvrstoći", a više o održavanju stabilnog temperaturnog ponašanja. Osim toga, pojavljuje se u dijelovima komore poput obloga ili tuševa, a ponekad i u komponentama za rukovanje.