Brod od SiC visoke čistoće

Čadić od silicijum karbida (SiC) visoke čistoće je visokoperformansni keramički nosač dizajniran za visokotemperaturne poluprovodničke procese, rast kristala i preciznu termičku obradu. Sinterovan je sa ultra-visoko čistim SiC materijalom i ima odličnu otpornost na visoke temperature, otpornost na termičke udare i hemijsku stabilnost. Široko se koristi u difuziji poluprovodnika, CVD-u, LED epitaksiji i rastu fotonaponskih monokristala.

Primjena:

Visokočisti SiC brod je ključni potrošni materijal za poluprovodničke procese, koji se uglavnom koristi za nošenje i prenos pločica u okruženjima visoke temperature, te se široko koristi u procesima difuzije, oksidacije, žarenja i CVD silicijumskih pločica. Posebno je pogodan za visokotemperaturne procese poluprovodnika treće generacije (kao što je SiC/GaN) i energetskih uređaja.

Usluge koje se mogu pružiti:

analiza scenarija primjene kod kupaca, usklađivanje materijala, rješavanje tehničkih problema.

Profil kompanije:

Semixlab ima 2 laboratorije, tim stručnjaka sa 20 godina iskustva u materijalima, sa mogućnostima istraživanja i razvoja, proizvodnje, testiranja i verifikacije.

Tehnički parametri

Glavna područja primjene

Ovjera provjere ekološkog lanca

Semixlab High-Purity SiC Boat provodi ekološku verifikaciju lanca od sirovina do proizvodnje, prošao je međunarodnu standardnu ​​certifikaciju i posjeduje niz patentiranih tehnologija kako bi se osigurala njegova pouzdanost i održivost u oblastima poluprovodnika i nove energije.

Tipičan proces prijave

Priprema sirovine (SiC prah visoke čistoće) → Proces oblikovanja (suho presovanje/izostatsko presovanje) → Proces sinterovanja → Mašinska obrada i završna obrada površine (CNC brušenje/poliranje, hemijsko nagrizanje, žarenje) → Pročišćavanje i CVD premazivanje → Kontrola kvaliteta → Pakovanje

Zahvaljujući vrhunskoj optimizaciji parametara procesa, jedinstveni strukturni dizajn Semixlab High-Purity SiC broda osigurava odličnu stabilnost pločice, a istovremeno značajno smanjuje rizik od kontaminacije česticama. Njegov vijek trajanja može doseći 5-8 puta duži od vijeka trajanja tradicionalnih kvarcnih brodova, što ga čini idealnim rješenjem za obradu pločica na visokim temperaturama. Ova inovacija omogućava mu da postepeno zamijeni uvoz na tržištu poluprovodnika, pružajući visokoperformansno i isplativo domaće rješenje.

Za detaljne tehničke specifikacije, bijele knjige ili dogovore o testiranju uzoraka, kontaktirajte naš tim za tehničku podršku kako biste istražili kako Semixlab može poboljšati efikasnost vašeg procesa.

Prednosti Semixlab SiC jezgra za brodove visoke čistoće

1. Ekstremna čistoća (ključna prednost)

Semixlab High-Purity SiC Boat ima ultra visoku čistoću (≥99.9999%), a sadržaj nečistoća (Fe, Al, Na, itd.) je kontroliran na nivou od 1 ppm kako bi se izbjegla kontaminacija pločica ili epitaksijalnih materijala, što je posebno pogodno za proizvodnju SiC/GaN poluprovodnika.

2. Hemijska inertnost (otpornost na koroziju)

Otporan na kiseline, alkalije/eroziju plazmom, te može biti otporan na korozivne plinove poput HF, HCl, H2 (kao što su procesi nagrizanja poluvodiča). Ne oslobađa plin na visokim temperaturama.

3. Mehanička čvrstoća i vijek trajanja

Ultra visoka tvrdoća, odlična otpornost na habanje, smanjuje rizik od rasipanja čestica i produžava vijek trajanja (obično 3 do 5 puta više od kvarcnog čamca). Ne deformira se lako na visokim temperaturama, održavajući ravnost pločice (kao što je savijanje u difuzijskoj peći <0.1 mm).

4. Kompatibilnost procesa

Prilagodljivo raznim teškim okruženjima, oksidacijsko/redukcijskim atmosferama (kao što su O2, H2, Ar) i CVD/PVD procesima premazivanja. Površina se može prilagoditi, kao što je poliranje (Ra < 0.1 μm) ili premazivanje (kao što je SiO2) radi dodatnog smanjenja kontaminacije.