Visokočisti PECVD grafitni brodovi

Pregled proizvoda

PECVD grafitni čamci se široko koriste u proizvodnim linijama solarnih ćelija gdje silicijumske pločice moraju više puta proći kroz procese plazma premazivanja i pasivizacije. Budući da grafitni nosač direktno dodiruje pločice tokom utovara, prenosa i taloženja, njegova stabilnost ima snažan uticaj na kontrolu kontaminacije i pouzdanost automatizacije.

Semixlab grafitni čamci se proizvode od pročišćenih grafitnih materijala sa niskim sadržajem pepela i stabilnom raspodjelom gustoće. Struktura je dizajnirana prema praktičnim radnim uslovima koji se nalaze u kontinuiranim proizvodnim linijama, posebno tamo gdje su uobičajene brze promjene temperature i visokofrekventno robotsko rukovanje.

U stvarnoj upotrebi, mnoge fabrike obraćaju pažnju ne samo na čistoću, već i na deformaciju nakon dugih proizvodnih ciklusa. Nosač koji se prebrzo savija ili mijenja oblik može lako dovesti do problema s prijenosom, grebanja pločice ili nestabilnih položaja utovara. Kako bi se smanjili ovi rizici, grafitni čamci su dizajnirani s relativno niskim karakteristikama termičkog širenja i poboljšanom mehaničkom konzistentnošću.

Različite veličine pločica i konfiguracije automatizacije također mogu biti podržane u skladu sa zahtjevima kupčeve opreme. Proizvod se obično koristi za TOPCon, HJT, PERC i srodna PECVD proizvodna okruženja.

ključne značajke

Pročišćeni grafitni materijal sa sadržajem pepela ispod 20 ppm.

Stabilna struktura pri ponovljenim ciklusima zagrijavanja i hlađenja.

Manje termičko širenje u poređenju sa konvencionalnim grafitnim nosačima.

Pogodno za automatizovane sisteme za punjenje pločica.

Smanjena deformacija tokom dugotrajnog rada plazma procesa.

Kompatibilan s M10 i M12 platformama za proizvodnju wafera.

Strojno obrađena struktura utora pomaže u poboljšanju stabilnosti prijenosa.

Dostupno za prilagođene dimenzije i razmak koraka.

Napomene o proizvodnji i materijalima

Grafitni materijali koji se koriste za ove noseće sisteme mogu se odabrati prema procesnim uslovima kupca i očekivanom radnom ciklusu. U zavisnosti od okruženja primjene, mogu se razmotriti i uvezene vrste grafita ili domaći pročišćeni materijali.

Semixlab također podržava podešavanje obrade na osnovu različitih platformi za automatizaciju, uključujući razmak između utora, strukturu vodilica, orijentaciju utovara i konfiguraciju sklopa. Prije masovne proizvodnje, dimenzionalna provjera i evaluacija obrade se obično provode prema crtežima kupca ili zahtjevima uzorka.

Tehničke specifikacije