Porozni grafit visoke čistoće

U poređenju sa tipičnom gustom vrstom grafita, Semixlab nudi porozne grafitne slojeve koji dišu. Projektovan je da ima povezanu mrežu pora, što vam daje predvidljivu propusnost i mnogo bolju distribuciju gasa. Ako vaš proces zavisi od ujednačene temperature i stabilnog protoka gasa, to je upravo ono što želite.

Strogo održavamo čistoću - na oko 5 ppm ukupnih nečistoća - kako ne bi došlo do kontaminacije u osjetljivim okruženjima. I dalje ima dovoljno mehaničke osnove da zadrži svoj oblik kroz duge kampanje i ponovljene termičke cikluse.

Šta to čini drugačijim?

Struktura pora je srž materijala i mnogo pažnje posvećujemo održavanju njene ujednačenosti. Plin teče na isti način kroz cijeli dio, tako da ne dobijate vruće tačke ili mrtve zone koje utiču na stabilnost procesa. Ta konzistentnost se isplati u većem prinosu i manjem broju neobjašnjivih odstupanja.

Čistoća je neizostavna za rad s poluprovodnicima. Počinjemo s čistim sirovinama i provodimo ih kroz napredne korake pročišćavanja. Rezultat je nečistoće ispod 5 ppm - dovoljno nisko da neće otrovati vaš epi ili okruženje za rast kristala.

Termički je stabilan. Čak i kada ciklično mijenjate temperaturu između sobne i procesne temperature, dimenzije se jedva mijenjaju. To je ključno kada imate uske tolerancije i ne možete si priuštiti savijanje ili pucanje dijelova usred procesa.

Čak i kada je polovina volumena prazan prostor (poroznost oko 50%), tlačna i savojna čvrstoća izdržavaju. Možete ga pričvrstiti vijcima, stegnuti, složiti - ne raspada se. Ljudi to ponekad potcjenjuju, ali od njega možete izraditi prilično složene oblike bez da se rubovi okrnje.

A što se tiče mašinske obrade, zapravo je prilično lako raditi s njim. Redovno ga režemo u blokove, ploče, prstenove, diskove ili prilagođene oblike prema crtežima kupaca. Nema drame.

Zašto izabrati nas?

✔ Kontrola čistoće koja ispunjava zahtjeve za poluprovodnike

✔ Struktura pora koja je stabilna iz serije u seriju

✔ Otporan na termalni šok bez pucanja

✔ Mašinska obrada u kući — ne morate juriti dva dobavljača

✔ Podržana je izrada prototipa i masovna proizvodnja

✔ Dugogodišnje iskustvo sa SiC-om i poluprovodničkim grafitom

Ne šaljemo samo blok i želimo vam sreću. Obično sjednemo s procesnim timom kupca, razumijemo šta oni zapravo pokušavaju riješiti, a zatim tome prilagođavamo veličinu pora, kvalitet i obrađenu geometriju. To je puno pregovaranja, ali to je jedini način da se dobije pravi odgovor za rast kristala, epi ili naprednu proizvodnju.

Tipični parametri

Evo tipične specifikacije za jednu od naših standardnih vrsta poroznog grafita. Moguće je napraviti i druge vrste i prilagođene raspone poroznosti - samo pitajte.

Tipična fizička svojstva poroznog grafita
ltem	parametar
Bulk density	0.89 g / cm2
Kompresivna snaga	8.27 MPa
Snaga savijanja	8.27 MPa
Zatezna čvrstoća	1.72 MPa
Specifični otpor	130Ω-inX10-5
Poroznost	50%
Prosječna veličina pora	70um
Toplotna provodljivost	12W/M*K

(Napomena: originalne jedinice za specifični otpor bile su navedene kao „130Ω-inX10^-5„— to čitamo kao 130 μΩ·in, što je uobičajen način izražavanja. Javite nam ako vaš sistem koristi drugačiju konvenciju.)

Gdje se koristi?

Rast kristala SiC – Ovo je vjerovatno najveće područje primjene. Naš porozni grafit ćete naći u SiC pećima, gdje se koristi za ploče za distribuciju plina, obloge i druge dijelove gdje je potrebno da plin teče kroz samu komponentu, a istovremeno upravlja toplinom.

Proizvodnja poluvodiča – Difuzijske peći, epitaksijski reaktori i druga oprema za termičku obradu koja ne može tolerirati kontaminaciju. Ovdje je bitna kombinacija niskog sadržaja metala i termičke stabilnosti.

Vakuumska adsorpcija – Budući da su pore međusobno povezane, dobija se odlična sila držanja vakuuma preko površine. To se ogleda u steznim glavama za rukovanje pločicama, krajnjim efektorima za prihvat i postavljanje i sistemima za precizno pozicioniranje gdje je potreban nježan, ali pouzdan hvat.

Komponente termalnog polja – Izolacijski prstenovi, plinski razvodnici, potporne konstrukcije – sve što se nalazi u vrućoj zoni i treba zadržati svoj oblik.

Gorivne ćelije – Neki dizajni gorivnih ćelija oslanjaju se na porozni grafit za slojeve difuzije gasa ili ploče za protočno polje. I mi smo isporučili materijal u tu oblast.

1. Koje veličine pora možete isporučiti?

Standardne veličine pora kreću se od otprilike 10 μm do 100 μm. Ako vam je potrebno nešto izvan tog raspona, obično možemo razviti prilagođenu strukturu pora.

2. Može li se ovo obraditi u prilagođene oblike?

Da. Blokovi, ploče, prstenovi, diskovi, složeni dijelovi s vašeg crteža - sve ih obrađujemo u vlastitom pogonu.

3. Je li dovoljno čisto za upotrebu u poluprovodnicima?

Apsolutno. Visokočistoće su posebno napravljene za okruženja osjetljiva na kontaminaciju, uključujući fabrike poluprovodnika i postrojenja za rast kristala.

4. Možete li postići nivoe nečistoća čak i niže od 5 ppm?

Često da. Zavisi od primjene i koje elemente pokušavate minimizirati. Dodatni koraci prečišćavanja su dostupni ako specifikacija to zahtijeva.

Ako vam je potreban porozni grafit visoke čistoće za obradu poluprovodnika, rast SiC-a ili vakuumske primjene, kontaktirajte nas. Razgovarat ćemo s vama o specifikacijama, predložiti početnu kvalitetu i brzo vam dati ponudu.