EN 
EN
DA
NL
FI
FR
DE
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
ID
SK
UK
VI
TH
TR
FA
BE
LA
UZ
Grafitni prsten obložen pirolitičkim ugljikom
Semixlab-ovi pirolitički ugljikom obloženi grafitni prstenovi su konstruirani za visokotemperaturna okruženja poluprovodničke epitaksije gdje su termička stabilnost, kontrola čistoće i konzistentnost procesa ključni. Dizajnirane s gustim pirolitičkim ugljičnim premazom na visokočistim grafitnim podlogama, ove komponente pružaju odličnu hemijsku otpornost, nisko stvaranje čestica i vrhunsku termičku ujednačenost tokom obrade pločica. Kontaktirajte Semixlab danas kako biste istražili prilagođena rješenja za grafit obložen pirolitičkim ugljikom za vaše primjene poluprovodničke epitaksije.
Opis
Grafitni prsten prikazan ovdje se koristi u opremi za rast kristala silicijum karbida. Obično se postavlja oko područja termalnog polja unutar peći i radi zajedno s drugim grafitnim dijelovima tokom procesa rasta kristala.
Ova vrsta prstena se obično koristi u PVT sistemima rasta gdje temperatura peći ostaje izuzetno visoka tokom dužih perioda. Zbog radnog okruženja, korisnici obično zamjenjuju prsten nakon određenog broja ciklusa umjesto da ga koriste trajno.
Osnovni materijal je obrađeni grafit sa površinskim slojem PyC. U poređenju sa netretiranim grafitom, premazana površina je stabilnija tokom rada na visokim temperaturama i manja je vjerovatnoća oslobađanja čestica unutar komore.
U praktičnoj proizvodnji, mnogi kupci kupuju ove prstenove više puta kao dio rutinskog održavanja peći i planiranja proizvodnje.
Karakteristike proizvoda
PyC površinski sloj
Na površinu grafita nanosi se pirolitički ugljični premaz radi poboljšanja stabilnosti u uvjetima visokih temperatura.
Za rast SiC kristala
Uglavnom se koristi u pećima za rast kristala silicijum karbida i srodnim sistemima termičkog polja.
Stabilno stanje površine
Premaz pomaže u održavanju čistije radne površine tokom dugih ciklusa zagrijavanja.
Ponovljena serijska proizvodnja
Iste specifikacije mogu se kontinuirano isporučivati kupcima koji upravljaju s više peći.
Mašinska obrada prema crtežima
Veličina i struktura mogu se prilagoditi različitim dizajnima peći.
Proizvodnja i nabavka
Različite strukture peći zahtijevaju različite konfiguracije grafita, tako da se većina prstenova proizvodi prema crtežima kupaca ili postojećim uzorcima.
Tokom proizvodnje, dimenzije i debljina premaza se provjeravaju prije isporuke. Za kupce koji koriste velike količine u kontinuiranoj proizvodnji, stabilna ponovljivost između serija je obično jedna od glavnih briga.
Neki korisnici naručuju samo nekoliko komada za testiranje, dok drugi redovno kupuju veće količine za dugoročnu proizvodnu upotrebu.
Semixlab
Semixlab isporučuje grafitne i obložene grafitne proizvode koji se koriste u industriji poluprovodnika i rasta kristala. Proizvodi se mogu proizvesti prema zahtjevima primjene, strukturi peći i specifikacijama kupca.
Specifikacije
tehničke informacije
| Parametar premaza pirolitičkog ugljika (PyC) | ||
| stavka | jedinica | vrijednost |
| Kristalna struktura | šestougaoni | |
| Poravnanje | Orijentisano ili neorijentisano duž pravca 001 | |
| Nasipna gustina | g / cm3 | ~ 2.25 |
| Mikrostruktura | Polikristalni/Višeslojni grafen | |
| tvrdoća | GPa | 1.2 |
| Elastic Modulus | GPa | 11 |
| Tipična debljina | um | 30±5um |
| Površinska hrapavost | um | 1.5 |
| Čistoća proizvoda | ppm | ≤5ppm |
Aplikacije
-Rast kristala silicijum karbida
-PVT sistemi peći
-Termičko-poljski grafitni sklopovi
-Komponente peći za visoke temperature
-Grafitni potrošni dijelovi
Naše usluge
Semixlab prodavnica proizvoda
