EN 
EN
DA
NL
FI
FR
DE
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
ID
SK
UK
VI
TH
TR
FA
BE
LA
UZ
Porozna keramika Vakumska stezna glava
Brza detalja:
1. Drugi nazivi: Porozna keramička vakuumska stezna glava, porozna SiC stezna glava, porozna stezna glava.
2. Primjena: Visokoučinkoviti uređaj za vakuumsku adsorpciju dizajniran za preciznu adsorpciju i fiksaciju pločica i ingota, pogodan za proizvodnju poluprovodnika, rezanje pločica, preciznu obradu, epitaksiju na visokim temperaturama, nagrizanje, implantaciju iona i druge scenarije.
3. Osnovni parametri:
Podesiva poroznost (10-200μm).
Ultra visoka temperatura (≤1600°C), odlična otpornost na termalne udare.
Adsorpcijski vakuum: standardni -90kPa (može se prilagoditi na 100kPa).
Veličina vakuumske čašice: Podržava pločice od 4/6/8/12 inča, veličina ingota se može prilagoditi.
Opis
Keramička vakuumska stezna glava je visokoučinkoviti uređaj za vakuumsku adsorpciju dizajniran za preciznu adsorpciju i fiksaciju pločica i ingota. Koristi kompozitnu strukturu poroznog keramičkog + metalnog vanjskog prstena, u kombinaciji s prilagođenim dizajnom zračnih kanala i pora kako bi se postigla ravnomjerna raspodjela sile adsorpcije i visoka stabilnost. Pogodna je za proizvodnju poluvodiča, rezanje pločica, preciznu obradu i druge scenarije, podržava visoke temperature, okruženje s velikim brzinama kretanja, te može ispuniti zahtjeve kompatibilnosti različitih veličina pločica/ingota.
Prilagođena usluga
Prilagođavanje veličine i opterećenja
Optimizacija stoma i disajnih puteva
Prilagođavanje posebnim uslovima okoline
Primjer dizajna
Aplikacije
Proizvodnja poluprovodnika
Epitaksijalni rast: Stabilna adsorpcija SiC pločica na visokim temperaturama kako bi se izbjeglo savijanje i kontaminacija.
Litografija i graviranje: Precizno pozicioniranje na platformi koja se kreće velikom brzinom (ubrzanje ≤10G) kako bi se osigurala tačnost grafičkog poravnanja.
Obrada ingota
Rezanje i brušenje: Adsorpcija ingota teškog kristala (kao što su safir, ingot silicijum karbida) za suzbijanje pucanja rubova uzrokovanog vibracijama.
Naučna istraživanja i specijalna tehnologija
Žarenje na visokim temperaturama: porozne vakuumske čašice od silicijum karbida rade dugo vremena na 1600°C, bez deformacija i ispuštanja zagađenja.
Vakuumsko premazivanje: Dizajn visoke hermetičke nepropusnosti, kompatibilan sa PVD/CVD okruženjem šupljina.
Konkurentska prednost
Struktura jezgre i prednosti materijala
1. Višeslojni kompozitni dizajn
Površinski sloj: Porozna keramika (opciono porozni silicijum karbid ili porozni grafit), podesivi otvor blende (10-200μm) kako bi se osigurao ravnomjeran prijenos adsorpcijske sile na površinu pločice i izbjegla lokalna koncentracija napona.
Matrica: Visoko kruti metalni okvir (nerđajući čelik ili legura aluminija) koji pruža strukturnu podršku i nepropusnost za zrak.
Disajni putevi i pore: Unutrašnja mreža precizno obrađenih disajnih puteva i ravnomjerno raspoređenih mikropora podržava brzu vakuumsku ekstrakciju (sila adsorpcije do -90kPa) i trenutno oslobađanje.
2. Poređenje svojstava materijala
| materijal | Porozni silicijum karbid | Porozni grafit |
| Otpor temperature | Ultra visoka temperatura (≤1600°C), odlična otpornost na termalne udare | Srednje visoka temperatura (≤800°C), bolja toplotna provodljivost |
| Hemijska postojanost | Otpornost na koroziju kiselinama i bazama, otpornost na koroziju plazmom | Otporno na neoksidirajuće plinove, niža cijena |
| Primjenjiva scena | Visokotemperaturna epitaksija, nagrizanje, ionska implantacija | Rezanje, mljevenje, pakovanje oblatne |
3. Ključne performanse i tehnički parametri
| Opis | primjedba |
| Veličina stezne glave | Podržava pločice od 4/6/8/12 inča, veličina ingota se može prilagoditi |
| utovar | Maksimalno opterećenje jedne ploče 50 kg (visina ≤300 mm) |
| Radna temperatura | Porozni silicijum karbid: -50°C~1600°C; Porozni grafit: -50°C~800°C |
| Adsorpcijski vakuum | Standardno -90kPa (prilagodljivo do -100kPa) |
ČESTA PITANJA
P: Kako odabrati steznu glavu od poroznog silicijum-karbida i poroznog grafita? Koje su glavne razlike između stezne glave od poroznog silicijum-karbida i poroznog grafita u procesima na visokim temperaturama? Kako odabrati pravi materijal za scenario primjene?
A: Stezna glava od poroznog silicijum-karbida:
Otpornost na temperaturu: može stabilno raditi na ekstremno visokim temperaturama ≤1600°C (kao što je SiC epitaksija, visokotemperaturno žarenje), odlična otpornost na termalne udare, pogodno za mjesta drastičnih temperaturnih fluktuacija.
Otpornost na koroziju: otporna na jake kiseline, alkalije i eroziju plazmom, pogodna za nagrizanje, implantaciju iona i druge korozivne plinske procese.
Stezna glava od poroznog grafita:
Toplotna provodljivost: Veća toplotna provodljivost (200-400 W/m·K), pogodna za scenarije koji zahtijevaju brz prijenos toplote (kao što je odvođenje toplote pri rezanju pločice).
Ekonomičnost: Niska cijena, pogodno za okruženje srednje temperature ≤800°C (kao što je pakovanje, mljevenje).
Prijedlozi za odabir:
Ako je temperatura procesa > 800°C ili je potrebna otpornost na koroziju, porozni silicijum karbid je poželjniji; ako se teži isplativosti i niskoj temperaturi procesa, može se odabrati porozni grafit.
